Σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξου

Το βιομηχανικό σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης καθοδικού τόξου έχει σχεδιαστεί για την υψηλή-απόθεση πυκνών, ισχυρά προσκολλημένων μεταλλικών, κραμάτων και κεραμικών σύνθετων επιστρώσεων. Λειτουργώντας μέσω χαμηλής-τάσης, υψηλής-εκφόρτισης τόξου ρεύματος σε στόχους στερεάς καθόδου, το σύστημα εξατμίζει το υλικό απευθείας σε κατάσταση πλάσματος υψηλού ιονισμού (αναλογία ιόντων μετάλλου 40% - 80%). Αυτό οδηγεί ενεργητικά ιόντα στη διεπιφάνεια του υποστρώματος, παράγοντας ανώτερη πρόσφυση επίστρωσης σε σύγκριση με την τυπική θερμική εξάτμιση ή τις συμβατικές μεθόδους ψεκασμού.

Κατασκευασμένο για περιβάλλοντα παραγωγής και προηγμένα κέντρα έρευνας υλικών, το σύστημα εναποθέτει σκληρά,{0}}ανθεκτικά τριβολογικά στρώματα-όπως TiN, TiAlN, CrN και AlCrN-σε κοπτικά εργαλεία, καλούπια και μηχανικά εξαρτήματα ακριβείας. Ο αρθρωτός θάλαμος κενού δέχεται κλιμακούμενες διαμορφώσεις πολλαπλών-καθόδων και αυτοματοποιημένη πλανητική περιστροφή 3-αξόνων για να διασφαλιστεί η επαναληψιμότητα από παρτίδα-σε παρτίδα.

Μαγνητική-Τεχνολογία καθόδου διεύθυνσης:Τα μαγνητικά πεδία κλειστού-βρόχου σαρώνουν το σημείο της καθόδου στην επιφάνεια στόχο, αυξάνοντας τα ποσοστά χρήσης στόχου πάνω από 55% και καταστέλλοντας τον εντοπισμένο κρατήρα στόχου.

High Rate Ionization PlasmΔημιουργεί αναλογίες μεταλλικών ιόντων έως και 80%, παρέχοντας υψηλή κινητική ενέργεια για πυκνή ανάπτυξη φιλμ και βαθιά μεταλλουργική διάχυση στη διεπιφάνεια του υποστρώματος.

Προγραμματιζόμενη απόθεση πολλαπλών-επιπέδων:Το βιομηχανικό PLC σε συνδυασμό με μια αρχιτεκτονική ελέγχου HMI εκτελεί αυτοματοποιημένη αλληλουχία αντιδραστικών αερίων (N2, O2, C2H2) για λειτουργικές αρχιτεκτονικές επικάλυψης με κλίση και νανοστρώσεις.

Σε-Εγγραφή πλάσματος Situ:Ενσωματώνει βομβαρδισμό μεταλλικών ιόντων και μη ισορροπημένα στάδια καθαρισμού μαγνητρονίων πριν από την εναπόθεση για την απομάκρυνση των φυσικών οξειδίων και των επιφανειακών ρύπων.

Το υποσύστημα κενού έχει σχεδιαστεί για γρήγορους κύκλους-κάτω αντλίας και σταθερή πίεση λειτουργίας υπό συνεχή είσοδο αντιδραστικού αερίου:

Στάδιο Roughing & Roots:Απευθείας-οδηγούμενο περιστροφικό πτερύγιο ή αντλία ξηρής βίδας σε συνδυασμό με φυσητήρα Roots, εκκενώνοντας τον θάλαμο από την ατμοσφαιρική πίεση στα 10 Pa μέσα σε 5 λεπτά.

Στάδιο υψηλού κενού:Στροβιλομοριακή αντλία μαγνητικής αιώρησης που παρέχει υψηλή ογκομετρική ταχύτητα άντλησης για υδρατμούς και υπολειμματικά αέρια, εξασφαλίζοντας στόχους βασικής πίεσης κάτω από 5,0 x 10^-4 Pa.

Βαλβίδες και μετρητές:Πνευματικές βαλβίδες πύλης και ηλεκτρο-πνευματικές γωνιακές βαλβίδες ενσωματωμένες με μετρητές συνδυασμού Pirani/Penning πλήρους εύρους-για αυτοματοποιημένες ασφάλειες.

Ρύθμιση πίεσης:Αντίδραση μανόμετρου χωρητικότητας κλειστού-βρόχου συνδεδεμένη με ελεγκτές ροής μάζας υψηλής

Υλικά Στόχου
Καθαρά μέταλλα:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Στόχοι κράματος:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Ανθρακας:Στόχοι γραφίτη για υβριδική εναπόθεση-όπως άνθρακα (DLC).

Συμβατότητα υποστρώματος
Σκληρά μέταλλα / Καρβίδια με τσιμέντο:WC-Ενθέματα κοπής, μύλοι και εργαλεία φόρμας.

Χάλυβες υψηλής-ταχύτητας (HSS):Βρύσες, τρυπάνια και καρφίτσες.

Μηχανικοί Χάλυβες:Ανοξείδωτο χάλυβα, κράματα τιτανίου και υπερκράματα με βάση το νικέλιο-υψηλής θερμοκρασίας.

Δομικά Κεραμικά:Συστατικά αλουμίνας και νιτριδίου του πυριτίου που απαιτούν τριβολογική τροποποίηση.

Εργαλεία κοπής και μηχανικής κατεργασίας:Εναπόθεση επιστρώσεων TiAlN και AlCrN σε ένθετα καρβιδίου για αύξηση της αντοχής στην οξείδωση έως και 900 βαθμούς C και παράταση της διάρκειας ζωής του εργαλείου κατά τη διάρκεια ξηρής κοπής υψηλής ταχύτητας-.

Εξαρτήματα αυτοκινήτου:Σκληρή επίστρωση δακτυλίων εμβόλου, ανυψωτικών βαλβίδων και ακίδων ψεκασμού καυσίμου για μείωση των οριακών συντελεστών τριβής κάτω από 0,1 και αποφυγή γδαρσίματος.

Καλούπια & μήτρες:Εφαρμογή μεμβρανών CrN και TiCN σε πλαστικά καλούπια έγχυσης και μήτρες σφράγισης μετάλλων για την αποφυγή φθοράς της κόλλας και θολώματος υλικού.

Υλικό αεροδιαστημικής:Προστατευτικές επιστρώσεις ανθεκτικές στη διάβρωση-σε συνδετήρες ακριβείας και εξαρτήματα συμπιεστή που λειτουργούν σε διαβρωτικά περιβάλλοντα.

Γεωμετρία θαλάμου:Κατακόρυφα λάκκους-στυλ φόρτωσης ή οριζόντια μπροστινά-σχέδια θυρών φόρτωσης προσαρμοσμένα στις διαρρύθμιση δαπέδων καταστημάτων-.

Ενσωμάτωση υβριδικής πηγής:Διαμορφώσεις διπλής-τεχνολογίας που συνδυάζουν εξατμιστές καθοδικού τόξου με κάθοδοι αστάθμητου ψεκασμού μαγνητρονίου (UBMS) ή πιστόλια γραμμικών ιόντων.

Επίπεδο αυτοματισμού:Επιλογές ολοκλήρωσης εργοστασίων, όπως αυτοματοποιημένοι ρομποτικοί βραχίονες φόρτωσης ή τοποθέτηση σε διαχωριστικό τοίχο σε καθαρό δωμάτιο.

Ηλεκτρονικά Ισχύος:Προσαρμοσμένες γεννήτριες παλμικής πόλωσης βελτιστοποιημένες για μονωτικά υποστρώματα ή ευαίσθητα σε θερμοκρασία-υλικά βάσης.

Ανίχνευση διαρροής:Πραγματοποιήθηκε δοκιμή διαρροής με φασματόμετρο μάζας ηλίου σε όλους τους θαλάμους κενού και τις ραφές συγκόλλησης, διατηρώντας τους συνολικούς ρυθμούς διαρροής κάτω από 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Έλεγχος ηλεκτρικής ασφάλειας:Έλεγχος αντίστασης μόνωσης και συνέχειας γείωσης σύμφωνα με τα πρότυπα CE και ηλεκτρικής ασφάλειας.

Λειτουργική ξηρή λειτουργία:Δοκιμή συνεχούς αυτοματοποιημένου κύκλου στεγνώματος 72 ωρών μηχανικών μηχανισμών περιστροφής, αλληλουχίας βαλβίδων και παρεμβολών ροής νερού ψύξης.

Επαλήθευση διαδικασίας (FAT):Προαιρετική εναπόθεση επιστρώσεων TiN αναφοράς σε κουπόνια δοκιμής που παρέχονται από τον πελάτη-για την επαλήθευση της ομοιομορφίας του πάχους του φιλμ, της νανο-σκληρότητας και της αντοχής πρόσφυσης στις γρατσουνιές πριν από το κιβώτιο.

Οδηγός προετοιμασίας ιστότοπου:Λεπτομερής μηχανική τεκμηρίωση εγκαταστάσεων που καλύπτει όρια φόρτωσης δαπέδου, αγωγούς εξάτμισης, προδιαγραφές κρύου νερού και ηλεκτρικές σταγόνες που παρέχονται 4 εβδομάδες πριν από την παράδοση.

Σε-Ενεργοποίηση ιστότοπου:Οι μηχανικοί επιτόπιων υπηρεσιών επιβλέπουν τη μηχανική τοποθέτηση, τις συνδέσεις βοηθητικών υπηρεσιών, τη σφράγιση υπό κενό και την ηλεκτρική ενοποίηση.

Διαδικασία Εκπαίδευσης:Πραγματικά-στην εκπαίδευση χειριστή που καλύπτει τη συντήρηση θαλάμου, τα πρωτόκολλα αντικατάστασης στόχου, την αντιμετώπιση προβλημάτων κενού και τη διαχείριση συνταγών.

Απομακρυσμένη διάγνωση:Ασφαλής βιομηχανική πύλη VPN ενσωματωμένη στον πίνακα ελέγχου για απομακρυσμένες ενημερώσεις λογισμικού, ανάλυση καταγραφής παραμέτρων και διάγνωση σφαλμάτων.