Επισκόπηση προϊόντος
Αυτός ο εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων έχει σχεδιαστεί για φυσική εναπόθεση ατμών (PVD) υψηλής ακρίβειας{{0}. Χρησιμοποιώντας μια εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων υψηλής-ενέργειας για να βομβαρδίσει υλικά πηγής, το σύστημα επιτυγχάνει υψηλούς ρυθμούς εξάτμισης για μέταλλα, οξείδια και διηλεκτρικά υλικά υψηλού-σημείου τήξης{{4}.
Χτισμένο σε μια αρθρωτή αρχιτεκτονική κενού, το σύστημα φιλοξενεί πιστόλια ηλεκτρονίων πολλαπλών-τσεπών, προσαρμόσιμα εξαρτήματα υποστρώματος και προηγμένη-επιτόπια παρακολούθηση. Εξυπηρετεί εργαστήρια Έρευνας και Ανάπτυξης και γραμμές παραγωγής υψηλής-απόδοσης που απαιτούν αυστηρό έλεγχο της στοιχειομετρίας του φιλμ, της πρόσφυσης και της οπτικής απόδοσης.
-
![Εξοπλισμός εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων υψηλού κενού]()
Εξοπλισμός εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων υψηλού κενούΤο σύστημα εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων υψηλού κενού της σειράς EBE-εναπόθεση λεπτών μεμβρανών υψηλής-καθαρότητας για οπτικές, ημιαγωγικές και μεταλλουργικές εφαρμογές. Κατευθύνοντας μια μαγνητικά...Δείτε περισσότερα -
![Σύστημα εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης δέσμης ηλεκτρονίων]()
Σύστημα εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης δέσμης ηλεκτρονίωνΤο σύστημα εναπόθεσης λεπτών φιλμ δέσμης ηλεκτρονίων παρέχει κατευθυντική επεξεργασία PVD υψηλής-καθαρότητας για προηγμένη έρευνα και βιομηχανική παραγωγή. Χρησιμοποιώντας μια εστιασμένη,...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός εξάτμισης κενού δέσμης ηλεκτρονίων]()
Εξοπλισμός εξάτμισης κενού δέσμης ηλεκτρονίωνΑυτό το σύστημα εξάτμισης κενού δέσμης ηλεκτρονίων εκτελεί φυσική εναπόθεση ατμών (PVD) μετάλλων, οξειδίων και διηλεκτρικών σε υψηλό-σημείο τήξης-. Κατευθύνοντας μια εστιασμένη δέσμη ηλεκτρονίων...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης δέσμης ηλεκτρονίων]()
Εξοπλισμός εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης δέσμης ηλεκτρονίωνΑυτό το βιομηχανικό σύστημα εναπόθεσης δέσμης ηλεκτρονίων χρησιμοποιεί πυροβόλα ηλεκτρονίων με μαγνητική εστίαση (3 kW έως 15 kW) για να κατευθύνει ροές ενέργειας υψηλής-πυκνότητας σε εστίες...Δείτε περισσότερα -
![Σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων]()
Σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίωνΤο σύστημα εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων της σειράς EBE-Σειράς έχει σχεδιαστεί για φυσική εναπόθεση ατμών (PVD) μετάλλων, διηλεκτρικών και οπτικών υλικών υψηλού-σημείου τήξης-. Χρησιμοποιώντας μια...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων]()
Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίωνΗ σειρά EBE-V600 είναι μια βιομηχανική-πλατφόρμα εναπόθεσης ατμών (PVD) σε βιομηχανική κλίμακα, σχεδιασμένη για ακριβή επίστρωση λεπτού-υμενίου οπτικών εξαρτημάτων, συσκευών ημιαγωγών και...Δείτε περισσότερα
Τεχνικές Προδιαγραφές
|
Παράμετρος |
Εύρος προδιαγραφών |
Σημειώσεις / Τυπική διαμόρφωση |
|
Απόλυτη βασική πίεση |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Επιτυγχάνεται μέσω κρυογονικών ή turbo-ομάδων μοριακής άντλησης |
|
Διαστάσεις θαλάμου |
Προσαρμοσμένο (500 mm έως 1200 mm εσωτερική διάμετρος) |
304L / 316L από ανοξείδωτο χάλυβα, ηλεκτρο-γυαλισμένο |
|
Ε-Αξιολόγηση ισχύος όπλων |
6 kW έως 15 kW (Πολλαπλές-γεννήτριες σάρωσης τσέπης) |
Προγραμματιζόμενη εκτροπή δέσμης και ευρετηρίαση πολλαπλών-χωνευτηρίων |
|
Ποσοστό κατάθεσης |
0,1 nm/s έως 10 nm/s |
Έλεγχος βρόχου-κλειστού-σε πραγματικό χρόνο μέσω οθόνης κρυστάλλου χαλαζία |
|
Ομοιομορφία πάχους φιλμ |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Εξάρτημα πλανητικού υποστρώματος ή θόλου με μεταβλητή ταχύτητα περιστροφής |
|
Θερμοκρασία υποστρώματος |
Περιβάλλον έως 800 μοίρες |
Ενσωματωμένη θέρμανση ακτινοβολίας με θερμική ανάδραση PID |
Βασικά Χαρακτηριστικά Εξοπλισμού
Ηλεκτρονικό πιστόλι υψηλής-σταθερότητας:
Διαθέτει μαγνητική εκτροπή και εστίαση πολλαπλών-σημείων για την αποφυγή τοπικής υπερθέρμανσης των πηγών υλικών και την εξάλειψη του φτυσίματος κατά την αντιδραστική εξάτμιση.
Σχεδιασμός αρθρωτού χωνευτηρίου:
Εξοπλισμένο με 4 έως 6-εστίες με δυνατότητα ευρετηρίασης τσέπης, που επιτρέπουν την εναπόθεση πολλαπλών στρωμάτων χωρίς να σπάει το κενό.
Προηγμένη ασφάλιση κενού:
Πνευματικές βαλβίδες ελεγχόμενες με PLC, αυτοματοποιημένη αδροποίηση/υψηλή-αλληλουχία κενού και ασφάλειες προστατεύουν από διακοπή νερού ψύξης και ανωμαλίες ρεύματος.
Χαμηλή-Θάλαμος μόλυνσης:
Η εσωτερική θωράκιση χρησιμοποιεί ηλεκτρο-γυαλισμένο ανοξείδωτο χάλυβα με αφαιρούμενες επενδύσεις για γρήγορη μείωση των σωματιδίων και συντήρηση.
Υλικά & Υποστρώματα Ταινιών
Συμβατά υλικά εξάτμισης
Μέταλλα: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Διηλεκτρικά & Οξείδια: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Τύποι υποστρώματος
Γκοφρέτες σιλικόνης (2 ίντσες έως 12 ίντσες)
Υποστρώματα οπτικού γυαλιού, λιωμένου πυριτίου και χαλαζία
Εύκαμπτες μεμβράνες πολυμερούς (πολυιμίδιο, PET μέσω ρολού-σε-μονάδες ρολού)
Κεραμικά υποστρώματα (Al2O3, AlN)
Εφαρμογές
Οπτικές επικαλύψεις:
Αντιανακλαστικές επικαλύψεις (AR), φίλτρα στενής ζώνης-και καθρέφτες υψηλής-ανακλαστικότητας για συστήματα λέιζερ και φωτονικής.
Συσκευές ημιαγωγών:
Σχηματισμός ωμικής επαφής, επιμετάλλωση πύλης και επεξεργασία ανύψωσης- για μικροηλεκτρονικά.
Οπτοηλεκτρονική:
Διαφανή αγώγιμα στρώματα οξειδίου (TCO) και λεπτές μεμβράνες για οθόνες OLED και φωτοβολταϊκά στοιχεία.
Προηγμένη Ε&Α:
Διερευνητικές λεπτές-μαγνητικές στρώσεις μεμβράνης, υπεραγώγιμα φιλμ και ετεροδομές πολλαπλών-στρώσεων.
Προσαρμογή & Διαμόρφωση Συστήματος
Κάθε σύστημα λεπτής-μεμβράνης έχει διαμορφωθεί ώστε να ταιριάζει με συγκεκριμένες συνταγές διεργασιών και διατάξεις εγκαταστάσεων. Οι διαθέσιμες μηχανικές προσαρμογές περιλαμβάνουν:
Επιλογή στοίβας άντλησης:
Τούρμπο-μοριακές αντλίες (TMP), κρυοπαντλίες ή-διατάξεις διάχυσης λαδιού προσαρμοσμένες στις βασικές απαιτήσεις κενού και απόδοσης.
Φόρτωση-Ενσωμάτωση κλειδώματος:
Χειροκίνητη φόρτωση-κλειδώματος ή αυτοματοποιημένα συστήματα συμπλέγματος πολλαπλών-θαλάμων για διατήρηση εξαιρετικά-ακεραιότητας κενού και αύξηση της απόδοσης πλακιδίων.
Στην-Situ Metrology:
Θύρες ενσωμάτωσης για φασματοσκοπικά ελλειψόμετρα, οπτικές οθόνες ή αναλυτές υπολειπόμενων αερίων (RGA).
Λογισμικό ελέγχου:
Ιδιόκτητη διεπαφή PLC/HMI με αποθήκευση συνταγών, καταγραφή δεδομένων και πρωτόκολλα επικοινωνίας SECS/GEM για έξυπνη εργοστασιακή ενοποίηση.
Κατασκευή & Ποιοτικός Έλεγχος
Κατασκευή σκαφών:
Όλοι οι θάλαμοι κενού υποβάλλονται σε δοκιμή διαρροής με φασματόμετρο μάζας ηλίου με ουδό απόρριψης < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Ακεραιότητα συγκόλλησης:
Η συγκόλληση TIG εκτελείται υπό θωράκιση αδρανούς αερίου, ακολουθούμενη από παθητικοποίηση της εσωτερικής επιφάνειας και μηχανική στίλβωση για μείωση της εξάτμισης.
Εργοστασιακή δοκιμή αποδοχής (FAT):
Δοκιμή 72-ωρών συνεχούς στεγνού-τρεξίματος μέτρησης καμπυλών άντλησης, ακρίβειας σάρωσης ηλεκτρονικού όπλου, χρόνους απόκρισης αλληλομανδάλωσης και θερμικής σταθερότητας πριν από το κιβώτιο.
Συμμόρφωση και πρότυπα:
Κατασκευασμένο σύμφωνα με σύστημα διαχείρισης ποιότητας πιστοποιημένο κατά ISO 9001, με συστήματα σχεδιασμένα ώστε να πληρούν τις οδηγίες CE και τις σχετικές οδηγίες ασφάλειας και εργονομίας SEMI (S2/S8).
FAQ
Είμαστε-γνωστοί ως ένας από τους κορυφαίους κατασκευαστές και προμηθευτές εξοπλισμού λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων στην Κίνα. Εάν πρόκειται να αγοράσετε προσαρμοσμένο εξοπλισμό λεπτής μεμβράνης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων κατασκευασμένο στην Κίνα, καλώς ήλθατε να λάβετε τον τιμοκατάλογο από το εργοστάσιό μας. Για διαβούλευση τιμών, επικοινωνήστε μαζί μας.
