Εξοπλισμός PVD εξάτμισης τόξου

Το σύστημα PVD εξάτμισης βιομηχανικού καθοδικού τόξου χρησιμοποιεί ηλεκτρικά τόξα χαμηλής-τάσης, υψηλού- ρεύματος για την εξάτμιση στόχων στερεάς καθόδου σε περιβάλλον κενού. Αυτός ο μηχανισμός επιτυγχάνει ρυθμό ιοντισμού μετάλλου που ξεπερνά το 80%, εξασφαλίζοντας υψηλή αντοχή χημικής συγκόλλησης και πρόσφυση του υποστρώματος σε σύγκριση με τη θερμική εξάτμιση ή τον τυπικό ψεκασμό με μάγνητρο.

Σχεδιασμένο για συνεχή παραγωγή πολλαπλών-βάρδιων, το σύστημα ενσωματώνει έναν θάλαμο κενού από ανοξείδωτο χάλυβα βαρέως-, αρθρωτά συγκροτήματα διεύθυνσης καθόδου και μια αρχιτεκτονική αυτοματοποιημένου ελέγχου διεργασιών βάσει PLC-.

Υψηλή απόδοση ιονισμού:Η άμεση εξάτμιση καθόδου παράγει πλήρως ιονισμένο μεταλλικό πλάσμα για πυκνό, ελαττωματικό-ελεγχόμενο λεπτό-υμένιο σε μέτριες θερμοκρασίες.

Επιλογή μαγνητικού φιλτραρισμένου τόξου:Τα ενσωματωμένα ηλεκτρομαγνητικά πηνία διεύθυνσης ελαχιστοποιούν την εκτόξευση μακροσωματιδίων (σταγονιδίων) για να προσφέρουν λεία φινιρίσματα επίστρωσης για εργαλεία ακριβείας.

Εναπόθεση πολλαπλών επιπέδων / βαθμίδων:Η σύγχρονη λειτουργία πολλαπλών{0}}καθόδου επιτρέπει τη σύνθεση διαβαθμισμένων στρωμάτων μετάβασης (π.χ. Ti/TiN/TiAlN) χωρίς διακοπή του κενού.

Κλειστός-Έλεγχος διαδικασίας βρόχου:Οι βρόχοι ανάδρασης σε πραγματικό-χρόνο ρυθμίζουν τη ροή αντιδραστικών αερίων (άζωτο, ακετυλένιο, οξυγόνο) μέσω ελεγκτών ροής μάζας υψηλής-ακρίβειας (MFC) για τη διατήρηση των στοχευόμενων μερικών πιέσεων.

Στοίβα άντλησης:Η πρωτογενής χονδροποίηση χρησιμοποιεί αντλίες περιστροφικών πτερυγίων διπλής-βαθμίδας που υποστηρίζονται από φυσητήρες Roots. Η επίτευξη υψηλής-κενού βασίζεται σε αντλίες διάχυσης υψηλής-απόδοσης ή στροβιλομοριακές αντλίες.

Βαλβίδες και σωληνώσεις:Οι πνευματικές γωνιακές βαλβίδες και οι ηλεκτροπνευματικές βαλβίδες πύλης απομονώνουν αυτόματα τις ζώνες του θαλάμου. Οι πολλαπλές χρησιμοποιούν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα με φλάντζα ISO/KF και CF με ασημένια-επιμεταλλωμένα σφραγίσματα χαλκού ή δακτυλίους Viton O-.

Ανίχνευση διαρροής:Οι ενσωματωμένες θύρες δοκιμής φασματόμετρου μάζας ηλίου επιτρέπουν τη διάγνωση έως και 10^-10 Pa*m^3/s.

Συμβατά υλικά καθόδου
Καθαρά μέταλλα:Κράματα Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl (π.χ. ατομικές αναλογίες 50/50 ή 33/67).

Σύνθετοι στόχοι:TiC, CrC, WC.

Συμβατότητα υποστρώματος
Χάλυβες εργαλείων:Χάλυβες υψηλής-ταχύτητας (M2, H13) και καρβίδια με τσιμέντο (ένθετα WC-Co).

Δομικά κράματα:Ανοξείδωτο χάλυβα, κράματα τιτανίου (TC4) και υπερκράματα με βάση το νικέλιο-.

Μηχανική Κεραμική:Νιτρίδιο πυριτίου και αλουμίνα με αγώγιμη προ-επεξεργασία.

Εργαλεία κοπής και διαμόρφωσης:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV και παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εργαλείου κατά 200% - 400%.

Εξαρτήματα αυτοκινήτου:Επιστρώσεις κατά της φθοράς σε δακτυλίους εμβόλων, τάπες και βελόνες μπεκ ψεκασμού καυσίμου. Μειώνει τον συντελεστή τριβής σε 0.15 - 0.25 έναντι του χάλυβα.

Ιατρικά εμφυτεύματα: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

Καλούπια & μήτρες:Επιστρώσεις CrN ή DLC σε καλούπια πλαστικής έγχυσης και σφράγισης για την εξάλειψη της φθοράς της κόλλας και τη διευκόλυνση της απελευθέρωσης του τεμαχίου εργασίας.

Γεωμετρία θαλάμου:Κατακόρυφη φόρτωση λάκκου-τύπου φόρτωσης ή οριζόντια μπροστινή-διαμορφώσεις φόρτωσης.

Διάταξη πηγής:Προσαρμοσμένη τοποθέτηση καθόδου προσαρμοσμένη για τρισδιάστατες γεωμετρίες τεμαχίου εργασίας (π.χ. μακριές μήτρες εξώθησης ή πτερύγια στροβίλου).

Αναβαθμίσεις Bias Generator:Ενσωμάτωση υβριδικών μονάδων υβριδικών μονάδων υψηλής ισχύος παλμού μάγνητρον (HIPIMS).

Ενσωμάτωση αυτοματισμού:Ρομποτικές διεπαφές φόρτωσης και αυτοματοποιημένες ράγες μεταφοράς εξαρτημάτων για περιβάλλοντα καθαρού δωματίου.

Πριν από τη δοκιμή αποδοχής εργοστασίου (FAT), τα συστήματα υποβάλλονται σε:

Δοκιμή διαρροής κενού:Επαλήθευση φασματόμετρου μάζας ηλίου σε όλες τις συγκολλήσεις και τις σφραγίδες.

Επαλήθευση ηλεκτρικής ασφάλειας:Έλεγχοι αντίστασης μόνωσης, συνέχειας γείωσης και λογικής αλληλομανδάλωσης σύμφωνα με τα πρότυπα CE/UL.

Functional Burn-σε:Δοκιμή συνεχούς στεγνής λειτουργίας 72- ωρών για μονάδες περιστροφής, διακόπτες ροής και επικοινωνία PLC.

Δοκιμαστική λειτουργία επίστρωσης:Η εναπόθεση δειγμάτων επαληθεύτηκε μέσω μέτρησης πάχους μεμβράνης σφαιρών-κρατήρα και δοκιμής γρατσουνιών με εσοχές Rockwell.

Προετοιμασία τοποθεσίας:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 βαθμοί C), πεπιεσμένος αέρας, αερισμός και ηλεκτρικές σταγόνες (380V/480V, 3-φασικές, 50/60 Hz).

Θέση σε λειτουργία:Εγκατάσταση στον ιστότοπο, βαθμονόμηση κενού και βελτιστοποίηση συνταγών από ανώτερους μηχανικούς διεργασιών.

Εκπαίδευση χειριστή:Ακολουθούν-οδηγίες που καλύπτουν την τακτική συντήρηση, την αντικατάσταση του στόχου και τη λειτουργία SCADA.

Υποστήριξη μετά την πώληση:-Απομακρυσμένη διαγνωστική πρόσβαση μέσω ασφαλούς βιομηχανικού VPN. εγγυημένη τεχνική απόκριση εντός 24 ωρών.