Επισκόπηση προϊόντος
Το Σύστημα Εξάτμισης Βιομηχανικού Καθοδικού Τόξου είναι μια πλατφόρμα παραγωγής-βαθμού φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) που έχει σχεδιαστεί για την εναπόθεση-ανθεκτικά στη φθορά,{2}}ανθεκτικά στη διάβρωση και χαμηλής{3}}τριβής σκληρές επιστρώσεις. Χρησιμοποιώντας ηλεκτρικά τόξα χαμηλής-τάσης, υψηλού- ρεύματος, οι στόχοι στερεάς καθόδου εξατμίζονται και ιονίζονται αμέσως στο σημείο της καθόδου, δημιουργώντας πλάσμα μετάλλου υψηλής ιονισμού.
Σχεδιασμένο και κατασκευασμένο σύμφωνα με τα πρότυπα διαχείρισης ποιότητας ISO 9001 και τις οδηγίες συμμόρφωσης CE, αυτό το σύστημα έχει διαμορφωθεί για εργασίες επίστρωσης υψηλής απόδοσης σε τομείς κατασκευής εργαλείων, εξαρτημάτων αυτοκινήτων και βιομηχανικού υλικού. Οι τυπικές διαμορφώσεις ενσωματώνουν διατάξεις πολλαπλών-καθόδων με ανεξάρτητο μαγνητικό-τιμόνι, προγραμματιζόμενα τροφοδοτικά DC/παλμικής πόλωσης και αυτοματοποιημένο έλεγχο κενού για τη διατήρηση σταθερής στοιχειομετρίας φιλμ και πυκνών μικροδομών.
-
![Σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξου]()
Σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξουΤο βιομηχανικό σύστημα λεπτής μεμβράνης εξάτμισης καθοδικού τόξου έχει σχεδιαστεί για την υψηλή-απόθεση πυκνών, ισχυρά προσκολλημένων μεταλλικών, κραμάτων και κεραμικών σύνθετων επιστρώσεων....Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός PVD εξάτμισης τόξου]()
Εξοπλισμός PVD εξάτμισης τόξουΤο σύστημα PVD εξάτμισης βιομηχανικού καθοδικού τόξου χρησιμοποιεί ηλεκτρικά τόξα χαμηλής-τάσης, υψηλού- ρεύματος για την εξάτμιση στόχων στερεάς καθόδου σε περιβάλλον κενού. Αυτός ο μηχανισμός...Δείτε περισσότερα -
![Σύστημα λεπτής μεμβράνης τόξου κενού]()
Σύστημα λεπτής μεμβράνης τόξου κενούΤο Industrial Vacuum Arc Thin Film System χρησιμοποιεί την εξάτμιση καθοδικού τόξου για την εναπόθεση πυκνών, υψηλής πρόσφυσης μεταλλικών, κράμα και κεραμικών λεπτών μεμβρανών. Ένα τόξο...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης καθοδικού τόξου]()
Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης καθοδικού τόξουΣύστημα φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) που χρησιμοποιεί τοπικά ηλεκτρικά τόξα χαμηλής-τάσης και υψηλού- ρεύματος για την εξάτμιση στόχων στερεάς καθόδου σε πλήρως ιονισμένο πλάσμα. Ο υψηλός ρυθμός...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός εναπόθεσης εξάτμισης τόξου]()
Εξοπλισμός εναπόθεσης εξάτμισης τόξουΒιομηχανική πλατφόρμα φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) σχεδιασμένη για υψηλής-σύνθεσης πυκνών, ανθεκτικών{1}}στην φθορά και λειτουργικών σκληρών επιστρώσεων. Η διατήρηση μιας υψηλής{3}}ρεύματος,...Δείτε περισσότερα -
![Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξου]()
Εξοπλισμός λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξουΑυτό το σύστημα εξάτμισης καθοδικού τόξου εξατμίζει τους στόχους στερεάς καθόδου μέσω ενός ηλεκτρικού τόξου χαμηλής-τάσης, υψηλής-ρεύματος για τη δημιουργία πλήρως ιονισμένου μεταλλικού πλάσματος....Δείτε περισσότερα
Τεχνικές Προδιαγραφές
|
Παράμετρος |
Εύρος προδιαγραφών / Τυπική διαμόρφωση |
|
Διαστάσεις θαλάμου |
Διάμετρος: 800 mm - 1800 mm (Προσαρμόσιμες κατακόρυφες/οριζόντιες διατάξεις) |
|
Υλικό θαλάμου |
Διπλό-ανοξείδωτο ατσάλι SUS304 με εσωτερικά κανάλια ψύξης νερού- |
|
Απόλυτη πίεση κενού |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Διαμόρφωση καθόδου |
4 έως 12 ορθογώνιες/κυκλικές πηγές τόξου με ηλεκτρομαγνητικό σύστημα διεύθυνσης |
|
Τροφοδοτικό Arc |
300A - 500Ένα ρυθμιζόμενο σταθερό ρεύμα, κυματισμός<= 2% |
|
Ισχύς μεροληψίας υποστρώματος |
Ρυθμιζόμενη από 0 έως -1000 V, παλμική συχνότητα πόλωσης 10 kHz - 100 kHz |
|
Σύστημα Θέρμανσης |
Συστοιχία θερμαντήρα ακτινοβολίας, μέγιστη θερμοκρασία 600 μοίρες +/- 5 βαθμοί ομοιομορφία |
|
Περιστροφή τεμαχίου εργασίας |
Πλανητική ή διπλή-περιστροφή άξονα που οδηγείται από διέλευση μαγνητικού υγρού |
|
Σύστημα Ελέγχου |
PLC + Industrial PC, αυτοματοποιημένος έλεγχος ακολουθίας βάσει συνταγής- |
|
Απαιτήσεις βοηθητικών προγραμμάτων |
Νερό ψύξης: 0,25-0,35 MPa, 20-25 βαθμοί; Ισχύς: 380V/480V, 3φασική, 50/60 Hz |
Διαδικασία εξάτμισης τόξου
Ο κύκλος εναπόθεσης λειτουργεί υπό αυστηρό διαδικαστικό έλεγχο για να εγγυηθεί την ακεραιότητα του φιλμ και την πρόσφυση της διεπαφής:
Εκκένωση και εκκένωση αερίων:
Ο θάλαμος κενού αντλείται μέχρι τη βασική πίεση. Τα υποστρώματα θερμαίνονται υπό κενό για την εξάλειψη των πτητικών επιφανειών και της υπολειμματικής υγρασίας.
01
Χαλκογραφία πλάσματος (Καθαρισμός):
Ο βομβαρδισμός μεταλλικών ιόντων (χρησιμοποιώντας πηγές στόχου τιτανίου ή χρωμίου) καθαρίζει την επιφάνεια του υποστρώματος σε ατομικό επίπεδο, αφαιρώντας τα φυσικά οξείδια και ενεργοποιώντας τη διεπαφή.
02
Αντιδραστική εναπόθεση:
Τα αντιδραστικά αέρια (N2, CH4, O2) εγχέονται στον θάλαμο μέσω ελεγκτών ροής μάζας (MFCs) για να αντιδράσουν με τη ροή μετάλλου πλάσματος (π.χ. Ti, Cr, AlTi), σχηματίζοντας σύνθετες μεμβράνες όπως TiN, TiAlN ή CrN.
03
Ψύξη και εξαερισμός:
Η ψύξη μετά την{0}}απόθεση λαμβάνει χώρα υπό προστατευτική ατμόσφαιρα αδρανούς αερίου πριν από τον εξαερισμό του θαλάμου και την ανάκτηση μέρους.
04
Υποστηριζόμενοι στόχοι καθόδου
Τιτάνιο (Ti) & Τιτάνιο Αλουμίνιο (TiAl):Βασικά υλικά για τυπικό TiN και επιστρώσεις TiAlN υψηλής-οξείδωσης-αντοχής (αντοχή σε οξείδωση έως 900 μοίρες).
Chromium (Cr):Χρησιμοποιείται για διακοσμητικά φινιρίσματα και ανθεκτικά στη διάβρωση{0}στρώσεις CrN/CrC.
Ζιρκόνιο (Zr) & Πυρίτιο Τιτανίου (TiSi):Εφαρμόζεται για εξειδικευμένες διακοσμητικές και ανθεκτικές στη φθορά-νανοσύνθετες μεμβράνες.
Συμβατά Υλικά Υποστρώματος
Χάλυβας υψηλής-ταχύτητας (HSS):Περιστρεφόμενα τρυπάνια, μύλοι, εστίες και καρφίτσες.
Τσιμεντωμένα καρβίδια (WC-Co):Δυνατότητα ευρετηρίασης ένθετων, βελονωτών και μήτρες μορφοποίησης.
Μηχανικοί χάλυβες και κράματα:Εξαρτήματα βαλβίδων αυτοκινήτου, γρανάζια, εξοπλισμός υγιεινής από ανοξείδωτο χάλυβα και ιατρικά εμφυτεύματα τιτανίου.
Εφαρμογές & Αντίκτυπος Απόδοσης
Εργαλεία κοπής μετάλλων:
Εναπόθεση επικαλύψεων TiAlN και AlCrN σε ένθετα καρβιδίου και τελικούς μύλους, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του εργαλείου κατά 200% έως 300% και καθιστώντας δυνατή την ξηρή κατεργασία υψηλής ταχύτητας-.
Μήτρα διαμόρφωσης και σφράγισης:
Εφαρμογή πυκνών επιστρώσεων χαμηλής-τριβής για τη μείωση της φθοράς της κόλλας, του φουσκώματος και του κολλήματος του τεμαχίου κατά τη διάρκεια του βαθιού τραβήγματος, μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας έως και 40%.
Σύστημα μετάδοσης κίνησης αυτοκινήτου:
Επεξεργασία δακτυλίων εμβόλου, ακίδων ψεκασμού καυσίμου και ωστηρίων για ελαχιστοποίηση του συντελεστή οριακής τριβής σε < 0,15 και αποφυγή φθοράς από γδαρσίματα.
Βιομηχανικό Υλικό & Βρύση Υγιεινής:
Σκληρά διακοσμητικά στρώματα PVD (χρυσός TiN, ροζ χρυσός, μαύρο ζιρκόνιο) που περνούν μια δοκιμή ψεκασμού ουδέτερου αλατιού τουλάχιστον 500 ωρών (ASTM B117).
Προσαρμογή & Διαμόρφωση Διαδικασιών
Η διάταξη του εξοπλισμού κλιμακώνεται ανάλογα με τον όγκο παραγωγής, τη γεωμετρία του εξαρτήματος και το εργοστασιακό αποτύπωμα:
Γεωμετρία θαλάμου:
Κατασκευές κάθετης φόρτωσης για βαριά εργαλεία. οριζόντιες διαμορφώσεις παρτίδας για-φόρτωση εξαρτημάτων υψηλής χωρητικότητας.
Ενσωμάτωση πηγής:
Υβριδικές διαμορφώσεις που συνδυάζουν πηγές καθοδικού τόξου με καθόδους μη ισορροπημένης καθοδήγησης μαγνητρονίων (RMS) για την εναπόθεση ομαλών αρχιτεκτονικών πολλών στρώσεων χωρίς σταγονίδια-.
Συστήματα φιλτραρίσματος:
Προαιρετικά μαγνητικά φίλτρα μακροσωματιδίων (φίλτρα κατευθυνόμενου τόξου) εγκατεστημένα σε κανάλια καθόδου για την εξάλειψη των μακρο-σταγονιδίων για οπτικές ή εξαιρετικά{1}}λείες λειτουργικές επικαλύψεις ακριβείας.
Διασύνδεση αυτοματισμού:
Έτοιμη ενσωμάτωση-για ρομποτικούς βραχίονες φόρτωσης και αυτοματοποιημένη καθοδήγηση οχημάτων (AGV) παρτίδας.
Δομική ακεραιότητα:Τα σώματα θαλάμου υποβάλλονται σε δοκιμή διαρροής με φασματόμετρο μάζας ηλίου σε κατώφλι ευαισθησίας<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Ηλεκτρική ασφάλεια και συμμόρφωση:Κατασκευασμένο αυστηρά σύμφωνα με τις οδηγίες ηλεκτρικής ασφάλειας CE και IEC, με πλήρη δοκιμή μόνωσης και ασφάλειες έκτακτης ανάγκης.
Functional Run-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) επαληθεύονται σε τυπικά δοκιμαστικά κουπόνια πριν από την αποστολή.
Εγκατάσταση & Τεχνική Υποστήριξη
Πακέτο προετοιμασίας ιστότοπου:
Ολοκληρωμένα σχέδια διάταξης βοηθητικών προγραμμάτων που περιγράφουν λεπτομερώς τους ρυθμούς ροής του νερού ψύξης, τον εξαερισμό, την ικανότητα φόρτωσης στο δάπεδο και τις προδιαγραφές ηλεκτρικής πτώσης που παρέχονται 4 εβδομάδες μετά τη σύμβαση-.
Σε-Ενεργοποίηση ιστότοπου:
Πιστοποιημένοι από το εργοστάσιο-μηχανικοί διεργασιών χειρίζονται τη μηχανική ευθυγράμμιση, τον εντοπισμό διαρροών υπό κενό, την ηλεκτρική ενσωμάτωση και τη ρύθμιση αρχικής βασικής συνταγής στις εγκαταστάσεις του πελάτη.
Διαδικασία μεταφοράς συνταγής:
Η παράδοση περιλαμβάνει τυπικές βασικές συνταγές (TiN, TiAlN, CrN) και επιχειρησιακή εκπαίδευση για ομάδες εσωτερικής συντήρησης και μηχανικής.
Υποστήριξη απομακρυσμένης διάγνωσης:
Συστήματα εξοπλισμένα με ασφαλείς πύλες βιομηχανικών δρομολογητών για απομακρυσμένη αντιμετώπιση προβλημάτων παραμέτρων και λογικά διαγνωστικά PLC.
FAQ
Είμαστε-γνωστοί ως ένας από τους κορυφαίους κατασκευαστές και προμηθευτές εξοπλισμού λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξου στην Κίνα. Εάν πρόκειται να αγοράσετε προσαρμοσμένο εξοπλισμό λεπτής μεμβράνης εξάτμισης τόξου κατασκευασμένο στην Κίνα, καλώς ήλθατε να λάβετε τον τιμοκατάλογο από το εργοστάσιό μας. Για διαβούλευση τιμών, επικοινωνήστε μαζί μας.
