Εξοπλισμός σύνθετης εναπόθεσης PVD

Ο βιομηχανικός εξοπλισμός σύνθετης εναπόθεσης PVD έχει σχεδιαστεί για την κατασκευή λεπτών-υμενίων πολλαπλών-συστατικών, πολλαπλών-στρώσεων και νανο-σύνθετων μεμβρανών. Το σύστημα ενσωματώνει πηγές θερμικής εξάτμισης, e-εξάτμισης δέσμης και μαγνητρονίων σε ένα ενιαίο περιβάλλον κενού για τον έλεγχο της σύνθεσης του φιλμ, της ευκρίνειας της διεπαφής και της υπολειπόμενης τάσης. Κατασκευασμένη για συνεχή Ε&Α και παραγωγή, η αρχιτεκτονική διαθέτει χαμηλή πίεση βάσης, αρθρωτή διαμόρφωση πηγής και πρόσβαση καθαρής συντήρησης.

Ενσωμάτωση αρθρωτής πηγής:Οι θύρες θαλάμου παρέχουν ταυτόχρονη ή διαδοχική λειτουργία πηγών εξάτμισης και εκτόξευσης χωρίς διασταυρούμενη-μόλυνση.

Δυναμικός χειρισμός υποστρώματος:Οι μηχανισμοί μετάδοσης κίνησης πολλαπλών- πλανητικών αξόνων ή περιστροφής περιστροφής εξασφαλίζουν ομοιόμορφη επίστρωση σε πολύπλοκα τρισδιάστατα υποστρώματα και βαθιές τάφρους.

Σε-Θύρες παρακολούθησης Situ:Προ{0}}ευθυγραμμισμένες φλάντζες για μικροζυγό κρυστάλλων χαλαζία (QCM), φασματοσκοπία οπτικής εκπομπής (OES) και ευρυζωνική οπτική παρακολούθηση (BOM).

Ακεραιότητα κενού υψηλής-καθαρότητας:Δοκιμή διαρροής φασματόμετρου μάζας ηλίου σε 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.

Αυτοματοποιημένη ασφάλεια διασύνδεσης:Η ανάδραση του αισθητήρα πραγματικού χρόνου-προστατεύει από αστοχία νερού ψύξης, απώλεια πεπιεσμένου αέρα και ανωμαλίες υπερβολικής- θερμοκρασίας.

Αντλίες αδροποίησης και ρίζας:Οι αντλίες ξηρών βιδών χωρίς λάδι-σε συνδυασμό με φυσητήρες ριζών εμποδίζουν την επιστροφή υδρογονανθράκων στον θάλαμο διεργασίας.

Υψηλό-αντλίες κενού:Στροβιλομοριακές αντλίες με μαγνητική αιώρηση ή κρυογονικές αντλίες ηλίου κλειστού-βρόχου που επιλέγονται ανά απαιτήσεις φορτίου αερίου στόχου.

Ρύθμιση πίεσης:Οι ελεγκτές βαλβίδας πεταλούδας που είναι ενσωματωμένοι με μανόμετρα χωρητικότητας διατηρούν σταθερή πίεση διεργασίας (0,1 Pa έως 10 Pa) κατά τη διάρκεια αντιδραστικών εργασιών.

Φίλτρα οπτικών παρεμβολών:Αντιανακλαστικές επιστρώσεις πολλαπλών-επίπεδων-ανακλαστικών (AR), φίλτρα διέλευσης ζώνης και καθρέφτες υψηλών-ανακλαστικών για λέιζερ και αισθητήρες.

Ανθεκτικές-Σκληρές επικαλύψεις στη φθορά: Νανοσύνθετες επιστρώσεις νιτριδίου (TiAlN/Si3N4) σε εργαλεία κοπής ακριβείας και βαλβίδες αυτοκινήτων.

Μικροηλεκτρονικές λεπτές μεμβράνες:Αγώγιμα στρώματα φραγμού, στρώματα σπόρων και στοίβες επιμετάλλωσης επαφής για συσκευασία ημιαγωγών.

Ταινίες λειτουργικής ενέργειας:Διαφανή αγώγιμα οξείδια (TCO) και απορροφητικά στρώματα για φωτοβολταϊκά και συσκευές αισθητήρων.

Διαστάσεις θαλάμου:Κλιμακωμένος όγκος από κλίμακα Ε&Α (κύβος 400 mm) στην κλίμακα παραγωγής (Κυλινδρική διάμετρος. 1200 mm).

Πηγή Διατάξεις θυρών:Προσαρμοσμένη τοποθέτηση φλάντζας για ενσωμάτωση πηγών ιόντων τρίτων-μερών, υποβοηθούμενης απόθεσης πλάσματος (PAD) ή γεννητριών πόλωσης ραδιοσυχνοτήτων.

Φόρτωση-Ενσωμάτωση κλειδώματος:Χειροκίνητη φόρτωση-κλειδώματος, μονής-φόρτωσης πλακιδίου-κλειδώματος ή πολλαπλών-εργαλείων συμπλέγματος θαλάμων για την πρόληψη της οξείδωσης.

Παγκόσμια Συμμόρφωση Ηλεκτρικής και Ασφάλειας:Ερμάρια ελέγχου κατασκευασμένα σύμφωνα με τις οδηγίες UL 508A / NFPA 79 (Βόρεια Αμερική), CE (Ευρώπη) και SEMI S2/S8 EHS.

Δοκιμή κενού:Οι συγκολλημένοι θάλαμοι υποβάλλονται σε ανίχνευση διαρροής με φασματόμετρο μάζας ηλίου πριν από το φινίρισμα της επιφάνειας.

Επιθεώρηση διαστάσεων:Επαλήθευση της μηχανής μέτρησης συντεταγμένων (CMM) των επιπέδων στερέωσης της πηγής και των ανοχών υποστρώματος.

Εργοστασιακή δοκιμή αποδοχής (FAT):Δοκιμή 72-ωρών συνεχούς ξηρού-τρεξίματος καταγραφής αποσύνθεσης βασικής πίεσης, καμπυλών άντλησης προς τα κάτω και καταγραφής απόκρισης PLC.

Προ-Τεχνική εγκατάστασης:Παροχή εγχειριδίων απαιτήσεων εγκαταστάσεων (παροχές κοινής ωφέλειας, ροή/πίεση νερού ψύξης, εξαερισμός καυσαερίων, φόρτωση δαπέδου καθαρού δωματίου).

Σε-Ενεργοποίηση ιστότοπου:Οι μηχανικοί επιτόπιας υπηρεσίας επιβλέπουν την εξάρτιση, τη σύνδεση γραμμής κενού, την ηλεκτρική σύνδεση-και την αρχική αντλία-κάτω.

Βοήθεια συντονισμού διαδικασίας:Εκτελείται συλλογική δοκιμή με ομάδες μηχανικών πελατών για την επαλήθευση της ομοιομορφίας του φιλμ και των ποσοστών εναπόθεσης.

Υποστήριξη Κύκλου Ζωής:Ενσωμάτωση μονάδας απομακρυσμένου διαγνωστικού ελέγχου για-αντιμετώπιση προβλημάτων PLC σε πραγματικό χρόνο, που υποστηρίζεται από τοπικό απόθεμα ανταλλακτικών.