Περιγραφή εξοπλισμού:
· Εισαγωγή εξοπλισμού:
Εκφράστε τα μόρια αερίου διεργασίας που διέρχονται από το θάλαμο χάραξης αποσυντίθεται και ιονίζει για να παράγει πλάσμα.
εκφράζουν μερικές από τις ενεργές ομάδες στο πλάσμα αντιδρούν χημικά με την επιφάνεια του χαραγμένου υλικού.
Εκφράζουν τον εξοπλισμό χάραξης λεπτών μεμβρανών μέσω της τροφοδοσίας παλμών/ραδιοσυχνότητας, τα θετικά ιόντα στο πλάσμα βομβαρδίζονται φυσικά στην επιφάνεια του χαραγμένου υλικού, έτσι ώστε να καθαρίζονται, να τροποποιούν και να χαράζουν την επιφάνεια του υλικού με συνδυασμό φυσικής και χημείας.
· Πλεονεκτήματα εξοπλισμού:
Express Ultra-χαμηλή θερμοκρασία χάραξης, για να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις θερμοκρασίας διαφορετικών περιπτώσεων, μπορεί να αποφύγει τη θερμική τάση και την παραμόρφωση του υποστρώματος.
Η εκφράζοντας πηγή διπλής ιόντων μπορεί να ανυψωθεί και από τις δύο πλευρές του κυλίνδρου, εύκολη συντήρηση.
Express Εξοπλισμός χάραξης λεπτών μεμβράνης υιοθετεί πηγή καθαρισμού δέσμης ιόντων και μοναδική τεχνολογία εκκένωσης, υψηλή πυκνότητα πλάσματος, η επίδραση καθαρισμού της χάραξης είναι καλή, με καλή ομοιομορφία.
Express συναγερμός και προστασία: Η ολοκληρωμένη προστασία ασφαλείας περιλαμβάνει: Λειτουργία προστασίας της ασφάλειας θερμοκρασίας, Λειτουργία προστασίας υπερφόρτωσης, Λειτουργία προστασίας συναγερμού βραχυκυκλώματος, Διάφορες συνάρτηση προστασίας της εσφαλμένης λειτουργίας.
Πεδίο εφαρμογής:
Express Gtchable Υλικά: Μεταλλικά, Μη μεταλλικά, κράματα, ηλεκτρονικά εξαρτήματα (μονοκρυσταλλικό πυρίτιο, άμορφο πυρίτιο, πολυσυριτικό, SOI), οξείδια μετάλλων, νιτρίδια, καρβίδια, κεραμικά, πολυμερή, υπεραγωγικά υλικά κ.λπ.
Express μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως μηχάνημα ξεθωριασμού ταινιών για ταινίες DLC/TA-C.
Το Express μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε: 3C Consumer Electronics, ηλεκτρονικά εξαρτήματα, οπτική, μεταφορά, μούχλα εργαλείων, οικιακές συσκευές, νέα ενέργεια, ιατρικά, ερευνητικά ινστιτούτα και άλλες βιομηχανίες.
Πριν από τη χάραξη ιόντων μετά από χάραξη ιόντων
Δημοφιλείς Ετικέτες: Εξοπλισμός χάραξης λεπτών φιλμ, κατασκευαστές εξοπλισμού χάραξης λεπτών ταινιών, προμηθευτών, εργοστασίου
